Kontaktna rupa je otvor izolacije između metalnog sloja i aktivnog područja ili polisilicijuma. To je ključna struktura u mikroelektronici, obično urezana okomito u silikonsku pločicu, koja se koristi za povezivanje prvog metalnog interkonektora i uređaja za supstrat, i ispunjena metalima kao što je volfram. Često se koristi u proizvodnji integrisanih kola za realizaciju električnih veza između različitih slojeva kola.
Budući da kvalitet kontaktne rupe direktno utječe na performanse i pouzdanost cijelog kola, kontaktna rupa mora biti dizajnirana i proizvedena imajući na umu mnoge faktore, kao što su električne performanse, termička stabilnost, mehanička čvrstoća i produktivnost. Kako bi se osigurale dobre električne veze i manji otpor, kontaktne rupe se obično popunjavaju metalom ili drugim provodljivim materijalima. Istovremeno, kako bi se spriječila mehanička oštećenja i kemijska korozija, perimetar kontaktne rupe obično je prekriven zaštitnim slojem.
